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六氟乙烷

六氟乙烷

瀏覽次數:2653次

所屬分類:氟化物產品

發布日期:2021-06-29 16:20:22

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詳情

  一、產品介紹

  中文名稱:六氟乙烷           英文名稱:hexafluoroethane
  化學式:C2F6                  CAS號:76-16-4
  熔點(℃):-101               沸點(℃):-78
  亦是烴類化合物乙烷所對應的全氟化合物,是一種不易燃的氣體,難溶于水,微溶于醇。

  二、主要用途

  可用于一種具多功能的蝕刻技術,常見于半導體之生產。它可用于金屬硅化物及金屬氧化物并相對其金屬基質的選擇性蝕刻。叧外,它亦用于蝕刻硅上的二氧化硅。
  作制冷劑方面:六氟乙烷可連同三氟甲烷一起用于制冷劑R508A(六氟乙烷占61%)及R508B(六氟乙烷占54%)

  三、運輸信息

  危險貨物編號:22034
  UN編號:2193
  包裝類別:O53
  包裝方法: 鋼質氣瓶。
  運輸注意事項: 采用剛瓶運輸時必須戴好鋼瓶上的安全帽。鋼瓶一般平放,并應將瓶口朝同一方向,不可交叉;高度不得超過車輛的防護欄板,并用三角木墊卡牢,防止滾動。嚴禁與氧化劑等混裝混運。夏季應早晚運輸,防止日光曝曬。鐵路運輸時要禁止溜放。

  四、泄漏處理

  應急處理: 迅速撤離泄漏污染區人員至上風處,并進行隔離,嚴格限制出入。建議應急處理人員戴自給正壓式呼吸器。盡可能切斷泄漏源。合理通風,加速擴散。如有可能,將漏氣的容器移至空曠處,注意通風。漏氣容器要妥善處理,修復、檢驗后再用。

  五、儲存注意

  儲存于陰涼、通風的庫房。遠離火種、熱源。應與氧化劑分開存放,切忌混儲。儲區應備有泄漏應急處理設備。

  產品指標:

特來化工科技產品質量指標
項目名稱 質量指標
六氟乙烷(C2F6).ppmv ≥99.999%
氧氣(O2).ppmv ≤2.0
氮氣(N2).ppmv ≤8.0
二氧化碳(CO2).ppmv ≤0.5
一氧化碳(CO).ppmv ≤0.5
水份(H2O).ppmv ≤0.1
酸度(以HF計).ppmv ≤0.1
其它有機物.ppmv ≤1.5

  包裝規格:

鋼瓶包裝 容積 凈重
44L 43kg
鋼瓶閥門 CGA660/DISS716


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